Fotolitografiya [yun.] mətb. Fotoqrafiya üsullarından istifadə edilərək həyata keçirilən litoqrafiya növüdür. Sadəcə fotoqrafiya ilə litoqrafiyanın birləşməsindən daha çox, bu, müasir texnologiyaların əsasını təşkil edən, olduqca mürəkkəb və dəqiq bir prosesdir. Fotolitografiya, əsasən, mikroskopik ölçülərdə naxışlar yaratmaq üçün istifadə olunur və müxtəlif səthlər üzərində, xüsusilə də yüksək dərəcədə inteqrasiya olunmuş elektron sxemlərin istehsalında böyük rol oynayır.
Proses, fotohəssas bir materialla örtülmüş bir substratın (məsələn, silikon vafli) istifadəsini əhatə edir. Bu materiala, istənilən naxışın təsviri olan bir maskadan istifadə edərək, ultrabənövşəyi işıq şüaları vasitəsilə təsir edilir. İşığa məruz qalan hissələr kimyəvi reaksiyalar nəticəsində dəyişir və qorunmamış hissələrdən fərqlənir. Sonra, kimyəvi yuma prosesi vasitəsilə qorunmamış hissələr çıxarılır və beləcə, substrat üzərində çox dəqiq və kiçik ölçülü naxışlar əldə edilir. Bu naxışlar daha sonra müxtəlif texnoloji proseslərdə, məsələn, elektron sxemlərin yaradılmasında istifadə olunur.
Fotolitografiyanın dəqiqliyi və mikro ölçülü naxışlar yaratmaq qabiliyyəti, müasir yüksək texnologiyaların, mikroçiplərin, inteqral sxemlərin, optik cihazların və digər çox kiçik və mürəkkəb qurğuların istehsalında əvəzolunmaz rol oynayır. Prosesin davamlı olaraq təkmilləşdirilməsi və daha kiçik xətlərin yaradılmasına imkan verən yeni texnologiyaların tətbiqi, elektronikanın və digər sahələrin inkişafında mühüm rol oynayır. Beləliklə, fotolitografiya sadəcə bir mətbəə texnikası deyil, elm və texnologiyanın inkişafında mühüm əhəmiyyətə malik bir prosesdir.