Fotolitografik sifəti yunan mənşəli olub (yun. φῶς - phos - işıq, λίθος - lithos - daş, γράφειν - graphein - yazmaq), fotolitografiya ilə əlaqədar olanı bildirir. Yəni, fotolitografiya üsulundan istifadə edilərək yaradılan və ya bu üsulla əlaqəli hər hansı bir şey üçün işlədilir.
Fotolitografiya özü də, işığın köməyi ilə daş üzərində (əvvəllər əsasən) görüntünün əldə edilməsi prosesidir. Müasir dövrdə isə bu termin daha geniş mənada, işığın köməyi ilə hər hansı bir səthə (məsələn, yarımkeçirici lövhələrə, çap platalarına) görüntünün köçürülməsi və ya həkk olunması texnologiyalarını əhatə edir. Bu texnologiyalar mikroelektronika, çap sənayesi və digər sahələrdə geniş tətbiq olunur.
Beləliklə, "fotolitografik" sözü sadəcə "fotolitografiyaya aid olan" deyil, həm də bu texnologiyanın dəqiqlik, incəlik və səthi emalın yüksək keyfiyyətini ifadə edir. Fotolitografik proseslər çox kiçik ölçülü strukturların yaradılmasına imkan verir, bu səbəbdən də mikroçip istehsalında, yüksək dəqiqlik tələb olunan çap işlərində və digər dəqiq texnologiyalarda əvəzolunmazdır. Hətta, "fotolitografik çap üsulu" ifadəsi belə, sadəcə çapdan daha geniş bir texniki prosesi əks etdirir. Bu proses, şəklin işıq həssas material üzərində yaradılmasından tutmuş, son məhsulun əldə olunmasına qədər bir çox mərhələni əhatə edir.
Qısacası, "fotolitografik" termini, yüksək dəqiqlik və texnoloji mükəmməllik tələb edən proseslərə işarə edir və müasir texnologiyaların inkişafında mühüm rol oynayan bir üsulun təsvirinə xidmət edir.